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伺服气缸：?125、?160、?200、?250、?320

可实现气缸的多点定位、控制 响应快、重复定位精度高

单元化带来的简易维护（可更换阀单元、先导阀、控制器组件、密封圈组件等）

简易的初始设定

搭载自我诊断功能（尝贰顿亮灯和信号输出）

断气、断电时可实现紧急停止

安装：q根据使用环境、负载、条件，由于定位控制，可能会产生振动。请在实机上进行验证，确保对气缸的振动有充分的强度保持后再使用。w安装时请避免对活塞杆施加超过允许横向负载的横向负载。如果施加超过允许横向负载的横向负载，可能会导致目标位置运行时的重复停止定位精度下降或活塞杆动作不良。另外，密封圈或缸筒与活塞的金属部分接触后，可能会因偏磨耗导致空气泄漏，或因轴承部的加速磨耗导致寿命降低。允许横向负载请参见P.4 表2 。e在活塞杆前端安装工件时，请将活塞杆与工件的轴芯对齐后连接。如果活塞杆与工件的轴芯未对齐，则会产生因偏芯导致的横向负载，或产生与w项同样的现象。r安装本体时，请勿向气缸部的无杆侧缸盖和杆侧缸盖之间设置的配管管路、盖筒、电源插头等施加外力。如果对配管管路施加过大外力，则配管管路会破损，导致故障。缸径160以上的无杆侧缸盖上设置有吊环螺栓安装螺钉孔，因此请在该螺钉孔上安装吊环螺栓，通过吊装作业等移动本产物并进行安装。
使用：辩接通电源时、从紧急停止恢复时、切换运行模式时，根据设定，活塞杆可能会突然伸缩，请注意。飞请避免在产生结露的环境中使用。在低温条件下使用后，如果移动到常温的场所，温度会急剧上升，产生结露。如果结露产生的水滴附着在内部基板上，则会引起电器短路，引起故障。